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미세 소자의 제조 장치

지식재산권구분 특허 출원/등록번호 1018013120000
출원/등록 등록 출원/등록일 20171120
국내/국제 국내
국가명 Korea, Republic of
출원/등록기관 한국기계연구원
발명자명 장원석 정소희 김덕종 우창수
과제명 극한물성시스템 제조 플랫폼기술
연구기관 한국기계연구원
연구책임자 정준호
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