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박막 두께 측정장치 및 방법 ( APPARATUS FOR MEASURING THIN FILM THICKNESS AND THEREOF METHOD)

지식재산권구분 특허 출원/등록번호 18/029424
출원/등록 출원 출원/등록일 20230330
국내/국제 국외
국가명 United States
출원/등록기관 서울대학교 산학협력단, 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
발명자명 이제승,박주아,김윤영
과제명
연구기관
연구책임자 김윤영
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